²úÆ·ÏÈÈÝ
VS-300T ΪpgÍøÕ¾Â齫ºúÁË×ÔÖ÷Ñз¢µÄALDÔ×Ó²ã³Á»ý×°±¸¡£VS-300T ϵÁвúÆ·¿É´îÔØ4¸ö·´Ó¦Ç»£¬½á¹¹½ô´Õ£¬Í¬Ê±Öª×ã¸ß²úÄÜÐèÇ󣬾ßÓÐÓÅÒìÆºÐ§±È¼°CoO¡£¸ÃϵÁвúÆ·¿É³Á»ý¸ßÖÊÁ¿µÄSiO¡¢SiN¡¢TiO±¡Ä¤£¬ÔÚÔȳÆÐÔ¡¢¿ÅÁ£¶È¡¢Ì¨½×ÁýÕÖÂʵȷ½ÃæµÖ´ï¹ú¼ÊÁìÏÈˮƽ£¬Öª×ãÂß¼¡¢´æ´¢µÈ¿Í»§ÏȽøÊÖÒÕ½ÚµãÒªÇó¡£
²úÆ·ÌØµã
- ALD±¡Ä¤ÔÚ¸ßÉî¿í±È£¨20:1£©ÇéÐÎÏĄ̂½×ÁýÕÖÂʿɵִï95%
¿É´îÔØ4¸ö·´Ó¦Ç»µÄ¸ßƺЧ±ÈµÄÐÂÐÍÎå±ßÐÎ×°±¸
ÓÅÒ칤ÒÕÐÔÄÜ£¬¾ßÓÐÓÅÒìµÄÔȳÆÐԺͱ£ÐÎÐÔ
ͨ¹ýS2Çå¾²ÈÏÖ¤ºÍE47±ê׼ĥÁ·